EMS電鏡耗材通過微孔可觀察到碳顆粒的晶面間距，膜上形成的多晶金團簇，在這些團簇的邊緣可分辨出晶格，此樣品還可以通過標注鍍金膜上孔內碳的沉積率來測定電鏡的混染率。帶有乳膠狀顆粒的網(wǎng)狀格柵，既可以利用格柵間距進行放大倍數(shù)校正，又可通過測量格柵上乳膠顆粒的大小來進行校正，特別適用于透射電鏡更高放大倍數(shù)的校正。利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息。

    掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息，對x射線的采集，可得到物質化學成分的信息。
    而當放大率倍數(shù)較高的時候，復雜的波動作用會造成成像的亮度的不同，因此需要專業(yè)知識來對所得到的像進行分析。通過使用TEM不同的模式，可以通過物質的化學特性、晶體方向、電子結構、樣品造成的電子相移以及通常的對電子吸收對樣品成像。